R-14（CF4、四氟化碳、四氟甲烷、氟利昂-14、Freon 14、PFC-14、FC-14、R14）
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冷媒名稱 |
R-14 |
冷媒名稱 |
R-14 |
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沸點（1atm），℃ |
-128.1 |
破壞臭氧潛能值（ODP） |
0 |
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飽和蒸氣壓（-150.7℃），kPa |
13.33 |
全球變暖潛能值(GWP，100 yr) |
5700 |
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臨界溫度，℃ |
-45.6 |
燃燒 |
不可燃 |
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臨界壓力，MPa |
3.75 |
ASHRAE安全級別 |
A1（無毒不可燃） |
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主要應(yīng)用 |
| R14主要用于超低溫（深冷）復(fù)疊式制冷設(shè)備中，R14也是低溫配合冷媒的重要組分；四氟化碳（別名：四氟甲烷，全氟甲烷、氟碳14、carbon tetrafluoride、tetrafluoromethane、halocarbon 14、CF4、PFC-14）是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、泄漏檢驗劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。 |
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包裝規(guī)格 |
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鋼瓶包裝，6.5kg/瓶，27kg/瓶。 |
R-116（C2F6、六氟乙烷、全氟乙烷、氟利昂-116、Freon 116、PFC-116、FC-116、R116）
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冷媒名稱 |
R-116 |
冷媒名稱 |
R-116 |
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沸點（1atm），℃ |
-78.2 |
破壞臭氧潛能值（ODP） |
0 |
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飽和蒸氣壓（20℃），kPa |
2884 |
全球變暖潛能值(GWP，100 yr) |
11900 |
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臨界溫度，℃ |
19.9 |
燃燒 |
不可燃 |
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臨界壓力，MPa |
3.04 |
ASHRAE安全級別 |
A1（無毒不可燃） |
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主要應(yīng)用 |
| R116是一種特種低溫制冷劑，通常作為一種組分用于混配低溫混合冷媒；六氟乙烷（別名：全氟乙烷、氟碳116、perfluoroethane、hexafluoroethane、halocarbon 116、C2F6、FC-116）主要用作氣體電介質(zhì)和制造集成電路的干腐蝕劑。 |
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包裝規(guī)格 |
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鋼瓶包裝，5kg/瓶，30kg/瓶。 |
R-218（C3F8、八氟丙烷，全氟丙烷、氟利昂-218、Freon 218、PFC-218、FC-218、R218）
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冷媒名稱 |
R-218 |
冷媒名稱 |
R-218 |
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沸點（1atm），℃ |
-36.6 |
破壞臭氧潛能值（ODP） |
0 |
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飽和蒸氣壓（20℃），kPa |
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全球變暖潛能值(GWP，100 yr) |
8600 |
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臨界溫度，℃ |
71.9 |
燃燒 |
不可燃 |
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臨界壓力，MPa |
2.68 |
ASHRAE安全級別 |
A1（無毒不可燃） |
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主要應(yīng)用 |
| R218是一種特種低溫制冷劑，通常作為一種組分用于混配低溫混合冷媒；八氟丙烷（別名：全氟丙烷， 化學(xué)式C3F8，英文名octafluoropropane、perfluoropropane、 Halocarbon 218、FC-218）主要應(yīng)用于微電子工業(yè)中等離子蝕刻，以及器件表面清洗、碳同位素分離工質(zhì)、醫(yī)療用氣、氣體絕緣等。 |
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包裝規(guī)格 |
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鋼瓶包裝，5kg/瓶，35kg/瓶。 |
制冷劑壓焓圖
制冷劑溫度壓力對照表
物質(zhì)安全技術(shù)說明書(MSDS)
